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扩散/氧化/退火上下料机
产品特点
最高产能可抵达16000pcs/h
可凭据客户需求进行配置
特制精密陶瓷吸盘,陶瓷顶齿,陶瓷侧齿,减少硅片划伤,包管设备的稳定性
技术参数
技术参数
相关参数
产能
8000/11000/16000 pcs/h
石英舟规格
1000/1200/1600槽 ,节距2.38mm
硅片尺寸
166mm-210mm
适用花篮
100 cassette
碎片率
≤0.03%
开机率
≥98%
耗气量
1000L/min
具体参数如有变换,本公司不另行通知!
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